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晶圆识别
2015-08-14 13:10:14已阅读1115

晶圆追踪自动识别

竞争激烈的全球半导体行业要求对日益复杂的流程进行更严格的控制,从而最大化工具利用率和产量,且不能有任何误差。贯穿于后端处理的晶圆追踪需求对于盈利率从未如此重要。

In-Sight® 1740 系列晶圆读码器可满足此要求,它通过其极高的可靠性自动识别晶圆,从而最大限度降低人工干预的需求并避免工具停机。无论是在新的设备上安装还是在已有工具上改装,In-Sight 1740 系列读码器都可实现 100% 的晶圆追踪。

20 多年以来,晶圆 ID 系统设立了高读取率和高可靠性的标准,In-Sight 1740 系列也不例外。In-Sight 1740 系列晶圆读码器可能很小,但却具备了全面的性能。单个紧凑的独立系统中就可提供获得高读取率的所有需求,而且不会影响可靠性。

高级照明系统

内置了 12 种模式的软件控制亮场和暗场照明,In-Sight 1740 系列读码器可对几乎任何 ID 标记成像。超软标记,超薄镀层蓝宝石基板 - In-Sight 1740 系列照明系统可应对这些以及更多其他挑战。此外,随着新型晶圆制程和涂层的开发,In-Sight 1740 系列读码器可通过辅助照明端口提供特殊照明支持,从而满足新的成像挑战需求。

经验证的读取算法

即使是最高效的照明也需要高级 ID 算法来成功读取难于成像的晶圆上的 OCR、T7 矩阵码和条形码。In-Sight 1740 系列的核心是读取算法,该算法是基于在 31,000 多个晶圆 ID 系统上安装所获得的经验而开发的。这些算法经验证是世界上最强大、最可靠的算法,可用于卷边、CMP、模具绘制痕迹以及其他条件下的 ID 标记。


          SEMI T7

图像增强过滤器

晶圆处理的效果会对 ID 标记质量造成严重影响,以至于它们会拒绝甚至是最高级照明系统和软件算法的读取。In-Sight 1740 系列读码器可使用自动图像增强过滤器克服这些视觉质量不佳问题。在大多数读取问题严重的情况下,过滤器可将读取失败变成读取成功,同时还可提高可靠性并降低人工干预需求。

无 OCR 过滤器                         带 OCR 过滤器

更快的读取性能

In-Sight 1740 系列的读取速度比之前的产品系列 - 最畅销的 In-Sight 1720 系列 - 快 40%。该功能还可用于进行更深入的处理器图像分析,在不增加总体读取次数的情况下提供极可靠的结果。


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